Hochvakuum-Eckventile der Serie XL modifiziert

07 November 2019

Seine Hochvakuum-Eckventile der Serie XL hat SMC nun modifiziert. Sie sind nun ausgestattet mit einem Elektromagnetventil, einem austauschbaren Faltenbalg und einer neuen Hochtemperaturausführung des Signalgebers.

Wie alle Hochvakuum-Eckventile der XL-Serie von SMC sind auch die neuen Modelle mit einem Aluminiumgehäuse ausgestattet. Dadurch profitieren Anwender gleich mehrfach: Das niedrige Gewicht, die hohe Beständigkeit und die Resistenz gegenüber aggressiven Medien wie etwa Fluorgas sind wichtige Vorteile. Dazu ergibt sich dank der hervorragenden thermischen Leitfähigkeit des Aluminiums eine weitgehend homogene Temperaturverteilung im Ventilkörper. Dadurch werden Ablagerungen von Prozessgasen im Ventilinneren zum Großteil vermieden. Werden die Eckventile unter reinen Produktionsbedingungen eingesetzt, bietet Aluminium einen weiteren Vorteil gegenüber Stahl: Das Ventilgehäuse enthält keine Schwermetalle wie Nickel oder Chrom, daher entsteht nur eine minimale Kontamination der berührenden Medien. Da Aluminium kaum ausgast, ist es beim Einsatz der neuen Eckventile der XL-Serie möglich, mit kleineren Vakuumpumpen zu arbeiten oder die Evakuierungszeiten zu verkürzen.

Aufgrund dieser speziellen Vorteile können die Eckventile der XL-Serie nach Auffassung von Tobias Hartherz, Product Management bei SMC Deutschland vor allem in den Vorprozessen der Halbleiterindustrie punkten. Konkret lassen sich hier die Sputter- und CVD-Anlagen sowie die Anlagen zum Ätzen und Plasmaätzen hervorheben. Aber auch in der Nahrungsmittelindustrie und der Medizintechnik sieht er viele Anwendungsmöglichkeiten: „In Vakuum-Trockenschränken, Vakuum-Gefriertrocknungsanlagen, Sauerstoffreduzierungsanlagen oder Vakuum-Filtersystemen können die Eckventile der Serie XL ihre Stärken voll ausspielen.“



Die Hochvakuum-Eckventile der XL-Serie verfügen nun auch über einen hitzebeständigen Signalgeber für die Hochtemperaturausführung. Foto: SMC Deutschland GmbH